盛美上海进军PECVD市场支持逻辑和存储芯片制造

作为为半导体前端和先进晶圆级封装应用提供晶圆加工解决方案的领先设备供应商，上海梅生有限公司最近几天宣布推出具有自主知识产权的UltraPmaxTM等离子体增强化学气相沉积设备，拓展了一个重要的新产品类别盛上海预计将在几周内将其第一台PECVD设备交付给中国的一家IC客户

梅生上海首席执行官王坚表示:UltraPmaxTMPECVD设备的推出，标志着我们在之前的半导体应用领域进一步拓展到一个全新的工艺领域我们的许多客户都是28纳米及以上逻辑器件的供应商我们预测成熟工艺节点产能的增长，因为中国市场对成熟工艺节点产能的需求明显供不应求这套PECVD设备使梅生上海能够满足全球先进逻辑和存储芯片市场的需求，同时也将更好地为全球客户服务我们预计，此次推出的PECVD设备以及上个月发布的前涂层和显影设备UltraLith，将使我们的全球可服务市场规模翻一番

UltraPmaxTMPECVD设备配备了自主知识产权的腔体，气体分布装置和卡盘设计，可以提供更好的薄膜均匀性，更小的薄膜应力和更少的颗粒特性该设备采用单腔模块化设计，有两种配置:一种是可以配置一到三个腔模块，适用于极薄的膜层或快速工艺步骤，另一个是可以配置四至五个腔模块来支持厚膜沉积和更长的处理时间，同时优化生产率在上述两种配置中，多个加热卡盘安装在每个空腔中，以优化工艺控制并提高生产率

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编辑：夏冰